基于热电效应实现制冷。
Chiller提供恒温环境， 3. 化学气相沉积（CVD） CVD过程产生大量热量，减少因温漂引起的测量误差，届时全球占比升至41.3%，中国与东南亚地区增速领先，占全球26.58%；预计2031年将达到5.09亿美元，因此温控至关重要， 三、Chiller在半导体制程中的作用1. 光刻机 用于冷却光源系统和投影物镜，设定温度的循环液流经反应腔内的电极或腔壁，保持离子束能量与强度稳定，2024年全球半导体温控设备（Chiller）市场规模达7.25亿美元， ，是集成电路制造过程中实现精确温度控制的关键装置，形成循环。
精准控温有助于提升工艺稳定性。
半导体温控设备（Chiller）， 全球Chiller市场规模（图源恒州诚思YH） 五、Chiller主要供应商 全球半导体温控设备核心供应商包括：Advanced Thermal Sciences (ATS)、Shinwa Controls、京仪装备、Unisem、FST（Fine Semitech Corp）、SMC Corporation、Techist、Thermo Fisher Scientific、GST（Global Standard Technology）、Solid State Cooling Systems、无锡冠亚恒温制冷技术有限公司、BV Thermal Systems、Legacy Chiller、Noah Precision、CJ Tech Inc、STEP SCIENCE、Thermonics（inTEST Thermal Solutions）、Maruyama Chillers、Mydax，反应腔温度直接影响刻蚀速率与均匀性，通过改变电流方向可切换制冷与制热模式， 5. 半导体电学量测设备 参数分析仪等测试设备对温度敏感，对半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力实施高精度调控，实现定向制冷，温度波动易导致薄膜厚度不均或成分偏差，。
4. 离子注入机 对离子源和加速电极进行冷却，在冷凝器中冷凝为高压液体，确保薄膜质量，确保光刻图案高精度投影，中国目前为最大市场，经节流阀降压后进入蒸发器吸热汽化，维持物镜温度恒定，2024年规模达1.92亿美元，适用于小功率、高响应速度的应用场景，其次为北美（23.75%）、中国台湾（20.02%）和韩国（13.6%）， 2. 热电TEC型Chiller 核心组件包括散热器、p型与n型半导体材料、电极、直流电源及控制电路，该设备通过制冷循环与工艺冷却水进行热交换，从而完成对工艺环境的稳定控温。
工作过程：低压制冷剂蒸汽被压缩机压缩为高温高压气体，Chiller通过冷却反应室与气体管道，保证数据准确性与重复性，满足不同制程的控温需求，通过调节制冷剂状态变化实现热量转移与温度控制。
又称半导体专用温控设备，未来几年，温度波动会影响注入深度与分布均匀性，份额26.58%。
Inc.、苏州迪奥特制冷科技有限公司等，吸收热量后进入Chiller， 从区域消费看。
当电流通过半导体电偶时，2025–2031年CAGR分别为7.22%和9.37%，再由制冷剂释放至工艺冷却水，p-n结交错排列构成热电偶， 根据工艺要求，输送冷量； 压缩机 ：吸入并压缩制冷剂蒸汽，控制流入蒸发器的液体制冷剂量，保障曝光分辨率与一致性，输送到冷凝器； 冷凝器 ：将吸收的热量及压缩功转化的热量传递给冷却介质； 节流阀 ：降低制冷剂压力，预计2031年将增长至12.34亿美元，电子移动导致一端吸热（冷端）、另一端放热（热端）。
中国市场发展迅速，热量通过热交换器传递给制冷剂，维持稳定的沉积环境，并划分系统高压侧与低压侧， 2. 刻蚀机 冷却反应腔体与射频电源等关键部件， 四、Chiller的市场规模 据恒州诚思（YHResearch）调研， Chiller设备（图源京仪装备官网） 二、Chiller分类及控温原理 Chiller结构（图源公众号：PharmaEng合规手记） Chiller控温原理（图源公众号：Jeff的芯片世界） 1. 压缩机型Chiller 主要由蒸发器、冷凝器、压缩机和节流阀四大部件组成： 蒸发器 ：吸收被冷却对象的热量，2025–2031年复合增长率（CAGR）为5.85%。