半导体水冷腔体结构包括上盘面、下盘面和外部盘面，从而提高整体的热交换量及降温效率， 本发明提供了一种半导体水冷腔体结构及半导体加工设备，外部盘面呈筒状，大幅度增大水道的横截面积，下盘面安装于外部盘面内，在下盘面的内部及外部分别形成内部水道和外部水道。
上盘面盖设于外部盘面的一端；上盘面与下盘面相对设置，其属于半导体加工制造技术领域，配合形成用于容纳冷却水的内部水道；外部盘面的内侧壁与下盘面的外侧壁之间设置有环绕下盘面的外部水道，本发明通过上盘面、下盘面和外部盘面相互配合并组合为一体，同时减少内部材料 ，。